官方网站-首页

【导语】走进杭州昆泰磁悬浮技术有限公司的调试车间，一款被誉为半导体制造“真空心脏”的磁悬浮分子泵正接受严格调试。这款看似普通的银色圆筒设备，实则打破了国外技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵的国产化突破。它不仅在半导体领域大放异彩，还广泛应用于科研、工业、氢能源汽车及家用等多个领域。杭州昆泰，这个源自北航院士团队的创新企业，正以坚定的步伐，在高端装备自主化的道路上砥砺前行。

走进调试车间里，研发人员正在调试一种银色圆筒设备——磁悬浮分子泵。这看似普通的装置，被称为半导体制造“真空心脏”的关键设备，在过去完全依赖进口。

前不久，在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中，记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司（以下简称“杭州昆泰”）近距离接触到磁悬浮分子泵。

“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说，“它打破了国外企业的技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”

什么是磁悬浮分子(zi)泵(bèng)？它(tā)相当于一种真空获得设备，如同一个“超级清洁工”，将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去，让空间达到几乎没有气体分子的状态。

这与日常生活中，人们使用真空收纳袋的原理有些类似，人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵，按压时，使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压，从而将袋内的空气强制排出。

而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转，借助分子碰撞和拖曳作用，将气体分子，从真空室的一端输运到另一端，从而实现抽气。

韩雪介绍，在制造芯片过程中，需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’，轴承中的润滑油会污染芯片；而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’，可以使轴承完全悬浮，进行无接触运行。”

磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术，研究人员利用磁悬浮原理，使得分子泵内的转子，在运转过程中处于悬浮状态，避免了机械接触，减少了摩擦和磨损，从而实现更快的旋转速度。

“要快速抽取真空，叶轮需在高速旋转下保持稳定，这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说，叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件，主要用于抽气。叶轮尺寸较大，却要实现每分钟 24000次的高速旋转，对控制要求极高。

为此，团队经过两年的反复迭代验证，最终攻克难题，确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。

“我们不仅解决了‘卡脖子’问题，还实现了部分性能反超。”韩雪介绍，如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s，比国际主流产品高出20%以上，价(jià)格(gé)却(què)只(zhǐ)有(yǒu)进(jìn)口(kǒu)设(shè)备(bèi)的(de)70%-80%。

在(zài)昆(kūn)泰(tài)的(de)展(zhǎn)厅(tīng)里(lǐ)，陈(chén)列(liè)着(zhe)各(gè)种(zhǒng)“磁(cí)悬(xuán)浮(fú)+”产(chǎn)品(pǐn)：磁(cí)悬(xuán)浮(fú)纺(fǎng)机(jī)电(diàn)机(jī)、磁(cí)悬(xuán)浮(fú)氢(qīng)气(qì)循(xún)环(huán)泵(bèng)、磁(cí)悬(xuán)浮(fú)厨(chú)电(diàn)风(fēng)机(jī)……这(zhè)些(xiē)创(chuàng)新(xīn)的(de)背(bèi)后(hòu)，离(lí)不(bù)开(kāi)团(tuán)队(duì)的(de)努(nǔ)力(lì)。

杭(háng)州(zhōu)昆(kūn)泰(tài)“脱(tuō)胎(tāi)”于(yú)实(shí)验(yàn)室(shì)，核(hé)心(xīn)研(yán)发(fā)团(tuán)队(duì)源(yuán)自(zì)北(běi)京(jīng)航(háng)空(kōng)航(háng)天(tiān)大(dà)学(xué)（以(yǐ)下(xià)简(jiǎn)称(chēng)“北(běi)航(háng)”），公(gōng)司(sī)拥(yōng)有(yǒu) 80 余(yú)人(rén)的(de)技(jì)术(shù)团(tuán)队(duì)，其(qí)中(zhōng)博(bó)士(shì)及(jí)博(bó)士(shì)后(hòu)共(gòng)33 人(rén)，具(jù)备(bèi)近(jìn) 20 年(nián)的(de)设(shè)计(jì)、研(yán)发(fā)及(jí)应(yīng)用(yòng)经(jīng)验(yàn)。

目(mù)前(qián)除(chú)了(le)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)领(lǐng)域，这(zhè)项(xiàng)源(yuán)自(zì)北(běi)航(háng)院(yuàn)士(shì)团(tuán)队(duì)的(de)磁(cí)悬(xuán)浮(fú)技(jì)术(shù)，还(hái)在(zài)科(kē)研(yán)、精(jīng)密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。

“我们从高校出来创业，对技术钻研较深，但对政策了解有限。”韩雪坦言，“政府各级部门经常来企业调研，主动送来惠企政策，指导项目申报，还积极帮助技术人员解决落户安家问题，让大家能全身心投入创业和技术攻关。”

良好的创业氛围，给企业有了继续向下扎根的信心。“接下来，将继续在原有的基础上，完善产品性能，持续完善产品矩阵，在高端装备自主化的道路上坚定前行。”韩雪表示。